铜框架表面氧化过程及氧化膜厚度测量 张运娟,张胡军,何文海,高睿 (天水华天科技股份有限公司,甘肃天水,741000) 摘要:在集成电路封装过程中,表面氧化是制约铜框架大批量应用于生产的主要原因,而框架表面氧化程 度的测量和管控是铜框架应用于封装的关键点。本文运用金属氧化理论阐述了铜框架表面氧化过程及机 ...