近年来国内铜基微同轴技术在毫米波和太赫兹器件应用领域取得了显著进展.首先,论文综述了铜基微同轴的标准加工工艺,并介绍了基于该工艺成功设计的覆盖DC-1THz频段的多种传输线结构,包括矩形同轴,矩形波导,脊波导等常见射频传输线.其次,基于微同轴技术的大量有源和无源器件的设计,如滤波器,天线,宽带定向耦合器,射频GSG...