二氧化鈰之延伸式閘極場效電晶體式酸鹼值感測器,此型感測元件結合金屬-氧化物-半導體場效電晶體取代傳統的離子感測場效電晶體,具操作簡易與價格低廉等優點,也可朝拋棄型感測器發展.其次,利用熱蒸鍍法沈積指叉狀電極結合由射頻濺鍍法所製備之氧化鎳感測薄膜於藍寶石基板上製備電阻式氣體感測器.在不同氣體...
氣體感測器的研製.複合材料一直是受矚目的研究,本研究使用氧化鋅與二氧化錫製作奈米複合結構.先以濺鍍法或滴塗法於矽基板上成長氧化鋅種晶層,再以水熱合成法於種晶層上成長氧化鋅奈米柱狀結構.接著進行二次水熱法於氧化鋅奈米柱上成長二氧化錫奈米粒子,最後再以退火去除中間產物得到氧化鋅-二氧化錫複合堆疊...
本論文探討多重奈米結構異質接面(ZnSnO3/ZnO/P-Si)與(Zn2SnO4/ZnO/P-Si) 之二氧化碳(CO2)氣體感測器.首先以氫氧化鉀,異丙醇及去離子水混合之濕蝕刻溶液,將P型(100)矽基板上蝕刻出矽金字塔陣列.透過射頻濺鍍系統(RF Sputtering System)沉積ZnO種晶層,再以水熱合成法於種晶層上合成氧化鋅奈米柱結構.於...