液相电沉积方法装置示意图尽管液相电沉积技术在制备类金刚石薄膜及其相关材料方面已显示出诸多优势，且相关研究报道日益增多，但该领域仍存在诸多待探索之处：(1) 需进一步拓宽成膜基底的选择范围，并深入探究不同基底材料对DLC薄膜性能的影响。(2) 应更全面地研究电解液性质、沉积条件等因素对薄膜性质的影响。(3) ...
《金刚石膜制备与应用·下卷 》是2014年8月科学出版社出版的图书，作者是吕 反修。图书简介 本书论述了化学气相沉积(CVD)金刚石膜的制备、组织结构和性能表征,金刚石膜化学气相沉积理论,以及在电学(电子学)、热学、光学、声学、电化学、力学等领域的应用,在高超声速、外太空、核和极端摩擦磨损环境下众多高新技术...
但CVD法无法获得与硅基半导体技术完全兼容的大面积、分层形式的金刚石膜,切片法可以产生高质量的单晶金刚石,但该方法不适用于工业应用,因为所获得膜的尺寸和表面粗糙度受到激光和聚焦离子束处理的限制。 据介绍,北京大学联合研究团队成功开发了切边后使用胶带进行剥离金刚石膜的方法,能够大量制备大面积(2英寸晶圆)、超...
内容简介: 《金刚石膜制备与应用(下)》比较全面、系统、深入地论述了化学气相沉积(CVD)金刚石膜的制备、组织结构和性能表征,金刚石膜化学气相沉积理论,以及在电学(电子学)、热学、光学、声学、电化学、力学等领域的应用,在高超声速、外太空、核和极端摩擦磨损环境下众多高新技术应用研究进展和市场前景。本书分六篇...
本发明涉及一种无氢类金刚石薄膜及其制备方法与应用,属于表面防护及涂层技术领域.制备方法包括:采用阳极层离子源辅助直流磁控溅射的方式于基体的表面沉积过渡层,采用阳极层离子源辅助直流复合高功率脉冲磁控溅射的方式于过渡层的表面制备无氢类金刚石薄膜层.该方法工艺简单,成本较低,不仅能够提高靶材的离化率,而且还能...
《金刚石膜制备与物性研究及应用》是2019年冶金工业出版社出版的图书，作者是吴春雷。内容简介 《金刚石膜制备与物性研究及应用》系统地研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压...
第6章CVD金刚石膜冷阴极场电子发射139 61电子亲和势和负电子亲和势141 62场电子发射和冷阴极制备143 621电子发射类型143 622场致发射方程——FN公式143 623金刚石在FED中的应用145 624金刚石薄膜的场发射性能148 63场发射机理151 631几种模型151 632影响金刚石场...
2.本发明柔性衬底纳米金刚石薄膜的膜基附着力强,在抛光过程中不脱落; 3.本发明柔性衬底纳米金刚石薄膜可替代抛光粉,可有效改善现有抛光工艺的不足,避免使用抛光粉对环境造成的污染,同时拓展了纳米金刚石薄膜的应用范围。 附图说明 图1为本发明制备的柔性衬底纳米金刚石薄膜的结构示意图; 图2为本发明制备的纳米金刚...
第12章 金刚石膜力学性能 第13章 金刚石膜光学性能 第22章 金刚石膜在极高能量密度环境中的应用前景 第23章 CVD金刚石膜市场分析 第五篇 纳米金刚石膜制备与应用 第27章 立方氮化硼薄膜 第28章 氮化碳薄膜 第29章 新型纳米碳材料 附录 缩略语