3020半自动影像检测仪二次元检测二维尺寸测量仪计量室实验室设备 宁波慈盈计量检测科技有限公司2年 月均发货速度:暂无记录 浙江 宁波市 ¥14060.00 供应万濠二次元影像量测仪 二次元测量仪 2.5次元测试机 东莞市正蓝精密仪器有限公司20年 月均发货速度:暂无记录 ...
由全球知名设计公司宾尼法利纳(Pininfarina)设计,以海克斯康制造智能“提高生产力系列(EPS)”概念为动力,GLOBAL S三坐标测量机在Global基础上,融合众多智能技术,包括用户增值体验、先进软件和环保选项,依据您的应用需求,量身定制提供不同级别的测量解决方案。 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因...
集成电路制程不断朝着高端发展,晶圆生产在工艺良率控制上就有了更高的要求。量测设备在晶圆生产时,可以监测、识别、定位和分析工艺缺陷,让晶圆制造企业能及时发现问题,改进工艺,提高良率。高端集成电路生产会更加依赖量测设备,量测设备的市场规模也有望不断扩大。量测和测试步骤完成以后,工艺人员会收到以晶圆...
1 过程控制:量测、检测是半导体制造良率的重要保障 过程控制:半导体晶圆制造过程中不同工艺之后,往往需要进行尺寸测量、缺陷 检测等,用于工艺控制、良率管理,要求快速、准确。尺寸测量、缺陷检测等应 用于每道制程工艺之后。IC 量测设备用于工艺控制、良率管理,检测要求快速、 准确、非破坏。IC 量测在发展过程...
量测设备可分为尺寸测量设备(Metrology)、缺陷检测设备(DefectInspection)两大 类,两类设备均广泛运用于晶圆生产流程中。测量设备对单步工艺(或若干次相 似工艺)处理的晶圆进行测量,确保关键工艺参数(厚度、线宽、成分等)符合 集成电路的工艺指标。测量设备主要包括膜厚测量、关键尺寸测量、套刻测量等。 缺陷检测设备对...
目前,量测设备在集成电路测试设备中的应用,主要在集成电路的制造方面,参与过程控制测试环节,以实现将线路图光刻在晶圆上。在所有半导体检测和量测设备的具体应用中,应用光学检测技术的设备占多数,在生产过程中,晶圆表面杂质颗粒、图案缺陷等问题的检测和晶圆薄膜厚度、关键尺寸、套刻精度、表面形貌的测量均需用到...
1.1 半导体量测设备可分为检测(Inspection)和量测(Metrology)两大类别 半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备,广义的半导体量测设备包括了 Inspection 和 Metrology 两大环节。半导体检测设备包括了异物缺陷、气泡缺陷和颗粒缺陷,而半导体量测设备主要包 括光刻套刻偏移量、薄膜膜厚和三维形貌。检测指...
后段检测设备注重产品质量监控,偏向于功能性,电性能检测。 1、前段半导体量测主要包括: 套刻对准的偏差测量,如果微影过程中的套刻精度超过误差接受范围,那么层间设计电路可能会因为位移而产生开路或短路。 薄膜材料的厚度测量,金属,绝缘体,光刻胶,多晶硅薄膜,其厚度的任何变化都会对器件产生直接影响,薄膜材料的力学性...
据盖泽科技CEO周益初介绍,盖泽科技是一家从事半导体光学量测设备和工业智能光学传感产品的高科技公司,其半导体量测设备主要用于半导体制造工艺中的缺陷检测和参数测量,被广泛应用在晶圆制造、芯片制造、先进封装等领域。伴随着半导体先进制程的发展,量测设备迎来了广阔的发展空间;在高端智能传感器领域,盖泽科技坚持国际先进的...