3. 3 实验装置的影响 邓舜杰等[47]对传统阴极等离子体电沉积装置(如图2 所示)进行了改进,提出如图3 所示的埋珠法阴极等离子体电沉积装置。 通过在阴极区施加微珠层,阴极表面的气泡逃逸变得困难,在较低的电流密度下就能形成气膜,同时微珠层的存在使得气膜厚度及阴极周围电场的分布变得更加均匀。 因此,在较低的电...