常规检漏和逆扩散检漏原理图 氦质谱检漏仪通常有两种检漏方法，一种是常规检漏，另一种是反向扩散检漏。反向扩散原理如图所示。反扩散检漏是将被测件与分子泵的气体出口连接，从分子泵的气体出口泄漏的氦气，对着被测泵的排气方向进入安装在泵的气体进口处的质谱仪管。这种检漏方法是基于分子泵对不同质量的气体具有不同的压缩比(
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。 这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。 逆扩散方式检漏允许被检件内...
逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。 这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。 逆扩散...
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。 这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。 逆扩散方式检漏允许被检件内...