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1、一般排风系统 对于生产辅助用室、生活用室等区域产生的一般废气，通常不需要特殊处理，直接通过排风口和排风管道排入大气。这类排风系统设计相对简单，但需确保排风口位置合理，避免气流短路，影响车间整体洁净度。2、酸性气体与碱性气体排风系统 在芯片生产过程中，可能会产生酸性或碱性气体。针对这类气体，排风...
以某半导体制造企业的洁净车间排风系统设计为例，该车间主要用于化学镀镍金工艺的生产，涉及多种有毒化学物质。在设计中，采用了局部排风与全面排风相结合的方式，通过精确计算送排风量，确保车间内空气形成稳定的气流流型。排风口安装在槽边，位于设备外罩内侧;补风口安装在栈板上方，位于设备外罩外侧。这样的布局使得...
1）一般排风系统 这是指在生产辅助用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。2）有机气体排风系统 当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。3）酸性气体排风系统 在生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、...
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一般来说，排风量需要在基本排风量基础上增加，以确保有效排除有害物质。同时，新风系统也是净化车间排风系统中的重要组成部分，它能够提供新鲜空气，确保车间的空气质量。针对加工过程中可能释放有机化学物质的场地或设备，应特别设置有机化学汽体排风设备。这些排风设备能够对有机废气进行相应的处理，以确保排放到空气...
1、无尘车间由于高温设备在生产过程中会不断排放热气，热气排气系统可用于热回收。有空间或排风量少时，采取保温措施。2、部分产品在生产过程中会排放酸碱气体，采用酸碱气体排放系统设置湿法洗涤吸收塔进行处理。3、一般排气系统将生产过程中排放的一般废气直接排放到大气中。4、生产过程中有时会用到各种有机物。此时会...
在设计半导体洁净车间排风系统时，首先要明确车间的洁净度要求、生产工艺特点以及设备布局，然后依据这些信息制定科学合理的排风系统设计方案。以下是一些关键的设计原则：1、气流组织设计：根据生产工艺及设备结构特点，合理设计气流组织，确保空气能够迅速排除有害物质，并防止其向外扩散。对于存在有害气体的区域，应采用...