従来の開放型洗浄装置の様に洗浄液(有機溶剤)と大気が触れる機会がほとんど無いため、溶剤の自然消耗量を大幅に削減することが可能となった。 さらに、減圧下で超音波を発振させるため、超音波のキャビテーションが倍増されるなどの効果もあり、より難易度が高いものでも洗浄が可能である。