超纯水,是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm(25℃)。超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透...
超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。 一般超纯水系统是经由多重过滤,离子交换,除气,逆渗透,紫外线,超滤,纳米率,离子吸附过滤所产生的超纯水。工艺流程 1: 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点 2: 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵...
超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水 生成条件 超纯水是将电阻率为2M ·cm(25°C)的纯净水在一定压力下,进入l m蜂房过滤器和超滤器等,先去除1 m的颗粒,然后进入两只串联起来的阴、阳树脂混合床,深度去除水中的杂质离子。最后,经过微孔膜过滤器精滤,将水的电阻率提高到12...
超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精制技术生产出来的水,这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质、有机物等。 用途超纯水可用于电子、...
超纯水,顾名思义,就是纯度极高的水。它是一种经过特殊工艺处理,去除水中几乎所有杂质的纯净水。超纯水的电阻率通常大于18.2 MΩ·cm,TOC(总有机碳)含量小于10 ppb,细菌数小于10 CFU/ml。二、超纯水的特点 与普通的水相比,超纯水中的杂质含量极低,几乎没有任何离子、颗粒、有机物和微生物存在。因此...
超纯水制备主要包括以下三个阶段,即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。1.初步吸附过滤阶段 自来水进入原水箱,通过原水泵增压,经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、精密过滤器,到达反渗透单元,经两级反渗透过滤进入EDI单元,达到符合规格电阻率进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式,经纯水供水泵增压...
1.超纯水及溶解气体应用介绍 超纯水是微电子行业的工艺用水,半导体工厂会大量使用超纯水,主要用于各个制程前后的湿法清洗。超纯水中的任何污染物都会对产品良率造成影响,例如金属离子,有机物,细菌微生物,颗粒物,硅和溶解气体,不同的制程对于超纯水的规范要求如表1所示。
超纯水又称高纯水,是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水,。超纯水的含盐量在0. 1mg/L以下,电导率小于0. 1μs/cm。纯水和超纯水除了对含盐量或电导率有严格要求外,对水中各种金属离子含量,有机物含量、微粒粒径及数量和微生物数量也有严格指标...
超纯水,是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。超纯水系统设备的脱盐核心部件为进口反渗透膜组件,超纯水系统设备通常由预处理部分,反渗透主机部分,后处理部分共同组成。1、预处理由石英砂过滤器、活性碳过滤器、全自动软水器、精密过滤器组成(我司采用全自动控制...