表面有效态密度及其在MOS结构建模中的应用 马玉涛 刘理天 李志坚 清华大学微电:于学研究所 北京 100084 摘要:本文从载流子在MOS结构反¨9层内的分布特性出发,提出了表面有效态密度 (SLEDOS:SurfaceLayerEffectiveDensity・ of-States)I钓I概念。利朋表面有效态密度的概念建立 了经典理论框架和量子力学框架内的电荷...