蚀刻机台电极结构及其制作方法 (57)摘要 本发明提供一种蚀刻机台电极结构及其制作方法,其中该蚀刻机台电极结构包含有电极基板具有多个气孔,以及多个陶瓷通气环分别安装于气孔之中。电极基板还包含表面处理层,一部分表面处理层位于气孔内且介于陶瓷通气环与电极基板之间,另一部分表面处理层从一部分表面处理层向气孔外侧延...
如上所述的蚀刻机台电极结构,其中该电极基板还包含位于该第一陶瓷 层之上的金属层。 如上所述的蚀刻机台电极结构,其中该电极基板还包含位于该金属层之 上的第二陶瓷层。 如上所述的蚀刻机台电极结构,其中该金属层包含钨。 本发明的另一方案揭示一种蚀刻机台电极制作方法,其先提供电极基 板,然后形成多个气孔于...
(54)发明名称用于干蚀刻机台的下电极结构及干蚀刻机台(57)摘要本发明提供了一种用于干蚀刻机台的下电极结构,其包括:绝缘部,包括相对的第一表面和第二表面;电极部,设置于第二表面上;顶针孔,贯穿绝缘部和电极部,所述第一表面与顶针孔的内表面的连接处形成台阶;顶针,包括针杆以及连接于针杆一端的托盘;当顶针...
金融界2024年12月28日消息,国家知识产权局信息显示,福建华佳彩有限公司取得一项名为“一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构”的专利,授权公告号 CN 222213112 U,申请日期为 2024 年 5 月。 专利摘要显示,本实用新型提供一种用于液晶面板干蚀刻机的支撑销及基板支撑结构,所述支撑销包括基座、滚珠以及衬...