一、蚀刻工艺概览 蚀刻，作为半导体制造中的一项核心步骤，涉及使用化学或物理方法，有针对性地移除基片上的特定区域材料，从而雕琢出精细的电路图案。在Bump工艺中，这一步骤对于确保电路连接的优质与整体产品的可靠性而言，显得尤为关键。二、蚀刻设备及其作用 蚀刻机，作为执行蚀刻操作的核心设备，可分为两大类：干法...
1.湿法蚀刻:湿法蚀刻是指将材料表面的部分材料溶解或刻蚀的加工方法。湿法蚀刻过程中,在蚀刻液的作用下,材料表面会溶解或刻蚀。湿法蚀刻工艺通常使用化学品、溶剂、稀释剂等液体作为蚀刻剂,可实现高精度、高效率的蚀刻加工。 2.干法蚀刻:干法蚀刻是指将材料表面的部分材料刻蚀的加工方法。干法蚀刻通过在真空环境中使用...
传统的等离子体蚀刻工艺通常用于MEMS加工中形成浅腔。后来20世纪90年代中期,科学家们推出了深度反应离子蚀刻(Deep reactive ion etching,DRIE)系统,可以蚀刻具有几乎垂直侧壁的高深宽比沟槽,其深度超过可达500μm。 德国斯图加特的Robert Bosch GmbH的有一种DRIE专利方法,其中蚀刻和沉积步骤在ICP-RIE系统中交替进行,具体...
1. 蚀刻工艺流程。 蚀刻工艺的基本流程包括准备工作、蚀刻加工和后处理三个主要环节。 1.1 准备工作。 在进行蚀刻加工之前,首先需要准备好待加工的衬底材料。通常情况下,衬底材料是硅片、玻璃片或者其他基片材料。在准备工作中,需要对衬底表面进行清洁处理,以去除表面的杂质和污染物,保证蚀刻加工的质量和精度。 1.2 蚀...
蚀刻工艺流程 CREATETOGETHER DOCSSMARTCREATE 蚀刻工艺流程详解DOCS 01 蚀刻工艺概述及其重要性 蚀刻工艺的定义与原理 蚀刻工艺是一种去除材料的过程 •通过化学反应或物理作用•在一定的条件下，选择性地移除材料 蚀刻原理主要分为化学蚀刻和电解蚀刻 •化学蚀刻：通过化学反应使材料溶解•电解蚀刻：通过电化学反应...
金属蚀刻 蚀刻加工用什么材料好? 蚀刻加工中常用的材料包括不锈钢、铜、铝、铁、钛等金属,以及金、银、镍、钯等金属合金。在蚀刻加工中,材料的选择主要是看加工产品的要求、蚀刻液的种类和性质、工件的尺寸和形状等因素。 对于不锈钢等金属材料,蚀刻加工的典型应用包括各种容器、水箱、医疗器械、餐具等。对于铜和铝...
一、蚀刻工艺流程简介 1.前期准备：选择不锈钢板作为工作材料，确保其表面干净、无油污。同时，准备好所需的蚀刻药水、油墨、模具等工具和材料。2.油墨印刷：利用模具将设计好的花纹用油墨精确地印在不锈钢板表面上。这一步是关键，它决定了最终花纹的清晰度和美感。3.蚀刻处理：将印刷好的不锈钢板放入蚀刻药水中...
1、工程制图。卓力达蚀刻工艺主要针对来图定制，能够对各种不同的材质进行蚀刻加工，厚度从0.03MM-2.0MM；公差最小可控制在0.0075mm，最佳的工程制图主要是CAD工程图。2、原材料准备。卓力达蚀刻工艺主要涉及的材料有不锈钢（201、202、301、304、316及400）、铜、铝合金、钛合金材质，其中涉及比较多的是不锈钢...
蚀刻工艺技术的基本原理是利用化学物质对材料表面的特定部分进行化学反应,使其被蚀刻。在蚀刻过程中,需要对材料表面进行保护,以防止被蚀刻的部分扩散到其他区域。常用的蚀刻工艺方法包括湿蚀刻和干蚀刻两种。 湿蚀刻是将材料浸泡在含有特定化学物质的液体中,使其发生化学反应,从而蚀刻材料表面。常用的湿蚀刻液包括酸性腐蚀...