四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除 接触电阻影响,具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并 经厚度、辿缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同,四 探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常 用,方形四探针...