1.一种蓝膜晶圆盘固定装置,包括安装座(1),所述安装座(1)上安装有能够转动的下盘(2),其特征在于:所述下盘(2)的上端连接有上盘(3),所述上盘(3)上带有能够置入蓝膜晶圆盘(21)的进料口(15),所述上盘(3)的下端面设有负压环槽腔(4)及吸盘片(5),吸盘片(5)覆盖负压环槽腔(4)且吸盘片(5)上设有与负...
东莞芳汇鑫科技技术有限公司FHX晶圆贴膜机是将蓝膜或 UV 膜覆在晶圆和 FRAME 铁环框架上, 使晶圆与 FRAME 铁环框架固定在一起的机器设备。本设备可将膜 类拉长覆盖在半导体(晶圆、玻璃、 LED 、 PCB )上面,通过圆周 刀和横切刀将膜类粘贴在晶圆背面即切割框架上,也可保护膜类从 有图案的晶圆表面剥离。晶圆贴...
晶圆贴膜机结构,单晶圆贴膜机减薄,真空吸盘,稳固覆膜! 1.适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜和双层膜。 2.可选配的能应用于超薄晶圆的的微孔贴膜台盘。 3.加热的且带弹力的贴膜台盘设计可自适应不同厚度的晶圆。 4.***的贴膜滚轮压力可调设计。 5.配备圆周刀和横切刀。 6.可选配的离子风棒静电去除装置。 7.体...
带加热功能和弹力的***特氟龙表面处理贴膜台盘: 带加热且加热温度范围可调的台盘设计,***贴膜粘合效果能调整至理想状态。带弹力的台盘可自适应不同厚度的晶圆、玻璃或陶瓷。表面***的特氟龙处理不但可以把贴膜时产生的静电减到***而且还能有效防止对芯片的物理划伤。本机带有自动收膜系统可以适用于带保护膜的双层...