PSS是在蓝宝石衬底上设计、制造特定的纳米级微结构图案,通过生长和刻蚀的方式,控制LED光输出的形式(蓝宝石衬底上的凹凸图案会产生光散射或折射效应,从而提高光的提取率)。 同时,在图案化蓝宝石衬底上生长GaN薄膜将产生横向外延效应,减少GaN与蓝宝石衬底之间的间隙缺陷,提高外延质量以及提高LED内部量子效率和光提取效率。
摘要 本发明涉及一种图形化感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法。该制作工艺包括如下步骤:对待蓝宝石衬底基板进行清洁处理;将蓝宝石与所述衬底对准安装,并将所述正面按设定距离设置匀胶涂佈在基板上;1.3根据预设的曝光条件进行投影曝光;对曝光后的衬底进行显影处理;对显影后的衬底进行干刻处理,将衬底表面的光刻胶作为刻蚀...
Published Online January 2022 in )对LED 发光效率的影响以及图案化衬底制备的关键技术进行了分析,包括掩膜的制备和图形的转移技术,以及蓝宝石图案化衬底制备的两种主要方法:干法刻蚀和湿法腐蚀,并比较了这两种制备方法的优缺点,最后指出纳米级图案化蓝宝石衬底是未来的重点发展方向。
摘要 本发明公开了一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法。首先利用EBL技术在单晶硅上制备得到一定周期的点阵结构硅模板;之后利用化学电镀的方法在该硅模板表面电镀金属镍,分离硅模板和金属镍层得到一个周期与硅模板相同、结构相反的金属镍模板;然后在经过处理的蓝宝石衬底表面旋涂热压印胶并利用之前制备得到的金属镍模板...
摘要 本发明公开了一种图案化蓝宝石衬底的制备方法,在蓝宝石基片上形成金属铝膜,采用反应离子刻蚀的方法,在蓝宝石基片上形成图案化铝膜,然后通过两步热处理的方式使铝膜进行固相反应,最终生成氧化铝单晶薄膜,从而可以获得最优的用于氮化物外延生长的图形化蓝宝石衬底。不同于通常所采用的对蓝宝石衬底直接进行干法刻蚀或...
【图案化蓝宝石衬底的制备方法及关键技术分析】随着技术革新与能源消耗加剧,低能耗的发展模式日益受到重视。在照明领域,LED 具有节能环保、寿命长、体积小等优点,广泛应用于各种显示、LCD 背光源、普通照明等...
本发明提供一种图案化蓝宝石衬底的制备方法,包括以下步骤: 步骤一、获取一蓝宝石基板; 步骤二、采用直流磁控溅射的技术在蓝宝石基板的表面形成金属铝膜; 步骤三、采用金属有机化合物化学气相沉积法,在金属铝膜的表面沉积掩膜层; 步骤四、采用旋涂的方式在掩膜层的表面形成光刻胶膜,将掩膜版置于衬底的上方,采用曝光...
图案化基板,简称PSS(Patterned Sapphire Substrate),俗称图形化衬底,也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用 ICP 刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长 GaN 材料,使 GaN 材料的纵向外延变为横向外延,蚀刻(在蓝宝石C面干式蚀刻/湿式蚀刻)的方式,在蓝宝石基板上设计制作...
摘要 本发明公开了一种纳米级图案化蓝宝石衬底的全湿化学制备方法,该方法包括在蓝宝石衬底上沉积单层胶体晶体薄膜;热处理后,在纳米微球的间隙填充入正硅酸乙酯的溶胶,干燥后在蓝宝石衬底的部分表面形成填充层;移除胶体晶体薄膜;利用该填充层作为一腐蚀掩模并湿法腐蚀该蓝宝石衬底,将纳米球排布所具有的周期性图案转移到...
摘要 本发明公开一种将图案化蓝宝石衬底不良品重制的方法,其步骤是:在蓝宝石上进行多层阻挡层涂覆加工;在阻挡层上进行黄光微影制程;在阻挡层上进行多层阻挡层的蚀刻;在蓝宝石上进行蓝宝石的蚀刻;采用蓝宝石抛光垫修整器进行修整,处理为成品;清洗。本发明使图案化蓝宝石衬底不良品得以重制为其他产品,变废为宝,增加...