1、简介 新材料、结构和系统的微型化到原子尺度已经需要用到电子显微镜,其中透射电子显微镜 (TEM)、扫描电子显微镜 (SEM)、聚焦离子束 (FIB) 和原子力显微镜 (AFM) 可被视为对不同材料种类进行高级和精确分析的最全面的技术。聚焦离子束显微镜因其多功能性和配置灵活性而变得越来越流行,因为许多任务实际上可以用一个工具来执行。目前,
本文介绍了FIB(聚焦离子束)是什么。在FIB(聚焦离子束)装置中:目前最常用的是使用Ga离子的装置。1.FIB的三个基本功能FIB有很多应用,图2.43显示了实现其众多应用的三个基本功能。它们分别是图1(a)所示的溅射功能、图1(b)所示的金属/绝缘膜沉积功能和图1(c)所示的观察功能。如图1(a...
聚焦离子束（FIB）技术是一种高精度的纳米加工和分析工具，广泛应用于微电子、材料科学和生物医学等领域。FIB通过将高能离子束聚焦到样品表面，实现对材料的精确加工和分析。目前，使用Ga（镓）离子的FIB装置是最为常见的类型，因其具有良好的分辨率和加工能力。FIB的三个基本功能 1.溅射功能 FIB的溅射功能是其最基础...
FIB可以分析薄膜材料每层厚度，也可以用作成分分析。FIB+EDS 可以做三维成分分析。刻蚀和切割是聚焦离子束技术的最大作用。FIB控制偏转系统对离子束扫描路径和扫描区域进行偏转，以根据所设图案对所设计结构进行刻蚀。在刻蚀过程中，溅射溢出的颗粒大部分被真空泵抽走，但有部分会掉落在被刻蚀区域附近，这一过程成为再...
聚焦离子束(Focused Ion Beam,简称 FIB)技术作为一种前沿的纳米级加工与分析手段,近年来在众多领域崭露头角。它巧妙地融合了离子束技术与扫描电子显微镜(SEM)技术的优势,凭借其独特的原理、广泛的应用场景以及显著的优势,成为现代科学研究与工业生产中不可或缺的重要工具。 基本原理 聚焦离子束显微镜系统的核心在于其...
图1 聚焦离子束电子束双束显微镜#02FIB在TEM制样的操作流程1. 样品定位与标记:从样品中确定出感兴趣的区域,采用离子束沉积在其周围或特定位置进行标记。通过离子束作用,在样品表面沉积一些容易识别的材料(如金属铂等),形成清晰可见的...
一、FIB技术的简介 聚焦离子束技术，其英文全称为：Focusedlonbeam，简称：FlB，它是利用电透镜将离子東聚焦成非常小尺寸的离子東轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。可以说，“聚焦离子束技术”堪称微观世界的纳米“雕刻师”，因凭借其高度集中的离子束，在纳米尺度上施展着加工、分析与成像的精湛...
聚焦离子束技术，简称FIB，是一种利用聚焦的离子束对材料表面进行微米至纳米级加工的技术。该技术通过电透镜系统将离子束精确聚焦，实现对材料的精确剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的快速发展，FIB技术已成为纳米尺度制造业中不可或缺的核心工艺。FIB技术的应用 FIB技术与高分辨率的扫描电子显微镜（SEM）等...
聚焦离子束(FIB)技术是一种高精度的纳米加工和分析工具,广泛应用于微电子、材料科学和生物医学等领域。FIB通过将高能离子束聚焦到样品表面,实现对材料的精确加工和分析。目前,使用Ga(镓)离子的FIB装置是最为常见的类型,因其具有良好的分辨率和加工能力。 FIB的三个基本功能 1.溅射功能 FIB的溅射功能是其最基础的应...
1、FIB介绍 FIB（Focused Ion Beam，聚焦离子束)是将离子源（如镓）产生的离子束经过离子枪加速，并利用电透镜聚焦成非常小尺寸（纳米级）的显微切割仪器。聚焦离子束切割技术（Focused Ion Beam，FIB）是一种利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工的方法。这种技术可以定点切割试样并观测其横截面以表征截面形貌尺寸...