【光刻百科】聚焦深度 Depth of Focus (DOF) 焦点周围的一个范围,在这个范围内图像连续地保持信息,这个范围被称作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深[1],它相当于照相机的景深[2]。 聚焦深度是衡量曝光工艺窗口的重要参数,它标志了曝光系统成像的质量和晶圆表面位置的关系。在聚焦深度范围之内,曝光成像的质量是...
2ω0是聚焦光斑大小,λ是激光波长,f是聚焦透镜的焦距,D是入射时激光光斑尺寸。 焦深计算公式:Rπω02M2λ
那聚焦镜焦深的计算公式到底是啥呢?一般来说,常用的公式是:焦深= 2 ×λ× (f/#)²。这里面的λ是所用光的波长,f/#是聚焦镜的相对孔径的倒数。 比如说,我们用的是波长为500纳米的绿光,聚焦镜的相对孔径的倒数是5,那算一下,焦深就等于2 × 500 × 10⁻⁹ × 5²,算出来就是2.5 × 10⁻...
激光聚焦光斑和焦深是激光应用中两个重要的光学特性。聚焦光斑决定了激光的功率密度和作用范围,而焦深则决定了激光在聚焦点外的清晰成像范围。 关于激光聚焦光斑的计算,通常涉及激光束的发散角、光学系统的焦距和物距等因素。以平行激光束经过理想光学系统后形成的光斑为例,其大小可以通过光线传播的几何关系来计算。具体...
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