【光刻百科】聚焦深度 Depth of Focus (DOF) 焦点周围的一个范围,在这个范围内图像连续地保持信息,这个范围被称作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深[1],它相当于照相机的景深[2]。 聚焦深度是衡量曝光工艺窗口的重要参数,它标志了曝光系统成像的质量和晶圆表面位置的关系。在聚焦深度范围之内,曝光成像的质量是...
一般来说,常用的公式是:焦深= 2 ×λ× (f/#)²。这里面的λ是所用光的波长,f/#是聚焦镜的相对孔径的倒数。 比如说,我们用的是波长为500纳米的绿光,聚焦镜的相对孔径的倒数是5,那算一下,焦深就等于2 × 500 × 10⁻⁹ × 5²,算出来就是2.5 × 10⁻⁵米。 这个公式看起来可能有点复杂...
聚集光斑计算公式 2ω0是聚焦光斑大小,λ是激光波长,f是聚焦透镜的焦距,D是入射时激光光斑尺寸。 焦深计算公式:Rπω02M2λ
激光聚焦光斑和焦深是激光应用中两个重要的光学特性。聚焦光斑决定了激光的功率密度和作用范围,而焦深则决定了激光在聚焦点外的清晰成像范围。 关于激光聚焦光斑的计算,通常涉及激光束的发散角、光学系统的焦距和物距等因素。以平行激光束经过理想光学系统后形成的光斑为例,其大小可以通过光线传播的几何关系来计算。具体...
聚焦透镜的焦深对激光切割精度有重要影响。 如果焦深太浅,会导致激光束的焦点深度不足,使得切割断面不平整,影响切割精度。 如果焦深太深,会导致激光束的焦点直径过大,使得切割断面宽度增加,同样会影响切割精度。 因此,在激光切割机的设计和使用中,需要根据被切割材料和切割要求选择合适的聚焦透...
设备和材料国际标准焦深与最佳聚焦的转化的八项国家标准薄膜致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范掩模基板规范规范造技术的检测图形单元规范密度和准确度的表示准则和尺寸定义的准则掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和关键尺寸计量方法家标准微型构图系列深与最佳聚焦的
1、前言 本标准等同采用年标准版本 微型构图 部分中的焦深与最佳聚焦的 测量规范 标准是国际上公认的一套半导体设备和材料国际标准焦深与最佳聚焦的 测量规范 是其中的一项 它将与已经转化的八项国家标准 硬面光掩模用铬薄膜 硬面光掩模基板 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 圆形石英玻璃光掩模基板规范...
百度试题 结果1 题目聚焦透镜焦距越长,焦深越小,功率密度高。() A. 正确 B. 错误 相关知识点: 试题来源: 解析 B 反馈 收藏
摘要 本发明公开了一种动态调整光刻成像设备中的聚焦透镜焦深的方法,包括下列步骤:(a)选取晶片中的任一成像块,测量该成像块的表面距离聚焦透镜中心的距离d;(b)判断所述距离d是否满足f-|DOF|≤d≤f+|DOF|,其中f是聚焦透镜的焦距,f>0,DOF是聚焦透镜的焦深;(c)若满足,则进入步骤(d);若判断出df+|DOF|,则...