-激光聚焦焦深（DOF）的基本公式：(DOF = pmfrac{2lambda f^{2}}{pi D^{2}})，其中(lambda)是激光波长，(f)是透镜焦距，(D)是激光束在透镜处的直径。-解答过程：-这个公式的推导基于光学中的衍射理论。从波动光学的角度来看，激光束在聚焦后会形成一个焦点，而在焦点附近存在一个一定深度的区域，在这个...
基本上,它是衡量光束与完美形状的理论 TEM₀₀ 高斯光束相比表现如何的指标。值“1”被认为是完美的,M²越接近1说明光束质量越好。 聚集光斑计算公式 2ω0 是聚焦光斑大小,λ是激光波长,f是聚焦透镜的焦距,D是入射时激光光斑尺寸。 焦深计算公式: DOF=2ZR=2πω02M2λ ...
焦深描述的是焦点前后能保持光斑清晰的范围。想象用放大镜聚焦阳光,纸面上出现最小光点时,稍微移动放大镜,光斑会变模糊。这段能维持光斑清晰的距离就是焦深。焦深越长,系统对位置偏差的容忍度越高;焦深越短,越需要精准对焦。 衍射极限与焦深紧密相关。光斑尺寸缩小时,焦深会同步缩短。比如显微镜使用高倍物镜观察细胞...
IC行业中的光刻及光掩模制造工艺需要对IC光刻设备如光学图形发生器、分步重复精缩机、分步重复投影光刻机、扫描曝光系统等(以下简称为设备)的聚焦深度、像散和场畸变进行测量并提出报告,本标准解释他们常用的术语的含义和所用的基本技术。 本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚焦与焦深测量...
激光聚焦光斑和焦深是激光应用中两个重要的光学特性。聚焦光斑决定了激光的功率密度和作用范围，而焦深则决定了激光在聚焦点外的清晰成像范围。关于激光聚焦光斑的计算，通常涉及激光束的发散角、光学系统的焦距和物距等因素。以平行激光束经过理想光学系统后形成的光斑为例，其大小可以通过光线传播的几何关系来计算。具体...
光束品质、聚焦光斑直径、焦深计算.pdf 德商罗芬激光技术(上海)有限公司 Rofin-Baasel China Co., Ltd. 上海市浦东区浦东大道 1085 号中信五牛城C座602 室 Room 602, Bldg. C, No. 1085 Pudong DaDao, Shanghai, P.R. China 200135 电话/Telephone: +86-21 传真:Facsimile: +86-21 info@ 德商罗芬激光...
一般来说,常用的公式是:焦深= 2 ×λ× (f/#)²。这里面的λ是所用光的波长,f/#是聚焦镜的相对孔径的倒数。 比如说,我们用的是波长为500纳米的绿光,聚焦镜的相对孔径的倒数是5,那算一下,焦深就等于2 × 500 × 10⁻⁹ × 5²,算出来就是2.5 × 10⁻⁵米。 这个公式看起来可能有点复杂...
本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样,因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。 英文名称:Specification for measuring depth of focus and best focus 标准状态:现行 ...
本专题涉及焦深与最佳聚焦的测量的标准有1条。 国际标准分类中,焦深与最佳聚焦的测量涉及到集成电路、微电子学。 在中国标准分类中,焦深与最佳聚焦的测量涉及到半导体集成电路。 国家质检总局,关于焦深与最佳聚焦的测量的标准 GB/T 17865-1999焦深与最佳聚焦的测量规范...