【光刻百科】聚焦深度 Depth of Focus (DOF) 焦点周围的一个范围,在这个范围内图像连续地保持信息,这个范围被称作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深[1],它相当于照相机的景深[2]。 聚焦深度是衡量曝光工艺窗口的重要参数,它标志了曝光系统成像的质量和晶圆表面位置的关系。在聚焦深度范围之内,曝光成像的质量是...