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摘要 本发明公开了一种基于非晶磁芯线圈的磁敏传感器及其工作方法。传感器由非晶磁芯磁敏元件和工作电路组成,其中的非晶磁芯磁敏元件为片状非晶材料层叠构成的块状磁芯(1)外依次置有电感线圈(2)、绝缘层(3)和偏置线圈(4),工作电路由偏置电路(5)、振荡电路(6)和测频电路(7)组成,电感线圈(2)为振荡电路(6)中的...
摘要 一种微机电系统技术领域的集成偏置线圈式巨磁阻抗效应磁敏传感器,包括:表面氧化的Si衬底、曲折多匝传感器、螺线管偏置线圈以及绝缘材料,曲折多匝传感器位于螺线管偏置线圈的内部轴心位置,绝缘材料包裹于曲折多匝传感器外部,线圈位于Si衬底表面。本发明采用MEMS微机电系统技术加工了曲折形状的NiFe/Cu/NiFe三明治薄膜巨磁...
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摘要 本发明涉及一种集成线圈偏置的巨磁电阻磁敏传感器。传统的磁敏传感器制造工艺复杂、产品成品率低、传感灵敏度低。本发明包括四个GMR磁敏电阻组成的惠斯通电桥、集成软磁材料层及集成偏置线圈,集成软磁材料层呈环形结构,在集成软磁材料层的直径方向上开有一对间隙,惠斯通电桥桥臂上相对位置上的一对电阻放置在集成...
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