纳米压痕法结合AFM原子力显微镜可以实现原位测量，结合有限元法可以对于理论模型进行完善，并拓宽模型的适用范围。最后，对于纳米压痕技术在薄膜涂层中的应用前景进行了展望。关键词：纳米压痕；薄膜；涂层；力学性能；研究现状 中图分类号：TG174 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2022)06-0138-22 DOI：10.16...