工艺流程 1.原料准备。 在熔体直拉法制备单晶硅的工艺中,首先需要准备高纯度的硅原料,通常采用硅锭或硅块作为原料。原料的纯度对最终单晶硅的质量有着重要影响。 2.熔化 将硅原料放入石英坩埚中,置于石墨加热炉中进行加热,使其熔化成液态。在熔化过程中,需要严格控制温度和气氛,以确保硅液的纯度和稳定性。 3.拉...
其中,熔体直拉法(Czochralski Process)是生产高纯度单晶硅的主要方法。下面,我们将简述这一工艺流程。 1. 硅料准备:首先,高纯度的多晶硅被加热至其熔点(约1420℃),形成熔融的硅液。这种多晶硅通常由硅石通过化学反应提纯得到,纯度高达99.9999%。 2. 拉晶过程:然后,将一个籽晶引入熔融硅液中,籽晶通常是预先处理过...
直拉单晶硅工艺流程1. 原料准备直拉单晶硅工艺的第一步是原料准备。通常使用的原料是高纯 度的二氧化硅粉末。这些二氧化硅粉末需要经过精细的加工和净化, 以确保最终制备出的单晶硅质量优良。2. 熔炼接下来是熔炼过程。将经过净化的二氧化硅粉末与掺杂剂(通 常是磷或硼)混合,然后放入石英坩埚中,在高温高压的环境下进 ...