等离子蚀刻机的工作原理是将气体通过高频电场激发成等离子体,利用等离子体的化学和物理反应对半导体材料表面进行高精度的加工。具体来说,等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。 等离子刻蚀具有更高的准确性、更好的控制性和更高的效率,相比传统机械切割和磨削方式。它广泛应用于微电子芯片制造、...
等离子蚀刻机的工作原理:等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光·等离子体在电磁...