等离子体清洗机包括真空室、真空系统、射频电源及匹配系统、工艺气路系统、压力控制系统等,如图1所示。抽真空到100Pa以下,充入一定流量的工作气体如Ar和O2,开启射频电源及匹配系统,产生等离子体,对工件进行清洗,清洗完成后关闭射频电源及真空泵阀,和工艺气路,打开充气阀,使真空室恢复大气压力就可打开真空腔室门,取出...
Plasma真空等离子清洗机工作原理 Plasma真空等离子清洗机的工作机理是真空腔内的工作气体因被施加直流或射频交流电压,而形成大量的无序高能等离子体,最后通过等离子体与材料表面之间的反应而实现清洗。因此其工作过程先后分别是辉光放电、等离子体的形成,被吸引的等离子体与材料表面产生反应,反应产物分解,以及剩余等离子体解吸...
火焰式等离子清洗机工作原理 火焰式等离子清洗机由一圆管状金属电极包围另一金属电极于管中央,两电极一端接电源供应器、一端接地,利用尖端放电后,由高流速气体流经圆管内将电弧喷出产生稳定等离子体。其特色为等离子体面积小、能量集中、处理效率高、产生的臭氧浓度较低、静电素积较小。火焰式等离子清洗机常见应用:...
火焰式等离子清洗机工作原理 火焰式等离子清洗机由一圆管状金属电极包围另一金属电极于管中央,两电极一端接电源供应器、一端接地,利用尖端放电后,由高流速气体流经圆管内将电弧喷出产生稳定等离子体。其特色为等离子体面积小、能量集中、处理效率高、产生的臭氧浓度较低、静电素积较小。 火焰式等离子清洗机常见应用: ...
火焰式等离子清洗机工作原理 火焰式等离子清洗机由一圆管状金属电极包围另一金属电极于管中央,两电极一端接电源供应器、一端接地,利用尖端放电后,由高流速气体流经圆管内将电弧喷出产生稳定等离子体。其特色为等离子体面积小、能量集中、处理效率高、产生的臭氧浓度较低、静电素积较小。
火焰式等离子清洗机工作原理 火焰式等离子清洗机由一圆管状金属电极包围另一金属电极于管中央,两电极一端接电源供应器、一端接地,利用尖端放电后,由高流速气体流经圆管内将电弧喷出产生稳定等离子体。其特色为等离子体面积小、能量集中、处理效率高、产生的臭氧浓度较低、静电素积较小。
真空等离子清洗机工作原理, 等离子清洗机原理图-达因特在等离子表面处理系统的制造方面拥有多年的专业经验,通过我们创新和可靠的表面处理技术提供优秀的粘附力。 等离子处理系统改善表面粘附性,实现了多种材料表面性能活化的均匀处理。在这种情况下,多种材料的物体可以在线式处理。达因特在等离子表面处理系统的制造方面拥有多...
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为了更好地理解等离子清洗机的工作原理,我们可以通过清洗原理图进行解析。以下是等离子清洗机清洗原理图的主要组成部分及其功能: 1.真空腔体:真空腔体是等离子清洗机的核心部件,用于容纳待清洗的物体和等离子体。腔体内部保持一定的真空度,以确保等离子体的稳定生成和高能粒子的有效作用。
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