1、刻蚀原理不同:RIE是通过化学反应形成反应产物进行刻蚀,而PECVD则是通过等离子体在表面形成物理和化学反应进行刻蚀。 2、刻蚀速率不同:RIE刻蚀速率比PECVD快,但刻蚀深度的控制较困难。 3、刻蚀精度和选择性不同:PECVD刻蚀精度和选择性更高,可以对不同的材料进行刻蚀,而RIE的选择性...