以下是一些典型的使用方法:1、光场调控:通过改变加载在空间光调制器上的位相图,可以实时生成不同拓扑荷数的涡旋光束等复杂光场,为光场调控提供了强有力的工具。2、光束整形:利用空间光调制器,可以对激光束进行整形,如生成平顶光束等,以满足激光加工、光学测量等领域的特定需求。3、AR/VR技术:在增强现实和虚拟现实...
你想想看,空间光调制器就像是一个光的魔法师,能让光按照我们的想法去变化。它可以把普通的光变得千奇百怪,就像孙悟空七十二变一样! 那怎么用这个神奇的“光魔法师”呢?首先啊,你得把它安好,就像给它找个安稳的家。然后呢,给它通上电,让它“醒过来”。这时候,你就可以开始摆弄它啦! 比如说,你可以通过各...
要用MATLAB控制SLM,首先得下一个工具箱Psychtoolbox安装上去,具体安装及使用方法可以参考这个网页: http://wavefrontshaping.net/index.php/groups-in-the-world/57-community/tutorials/spatial-lights-modulators-slms/52-how-to-control-a-slm 用MATLAB控制SLM方法的优点是简单,在现有编程基础上不需要学新的东西,...
导读:深入探讨Santec空间光调制器和波长选择开关的工作原理和使用方法。 今年的光连接大会上,光纤在线特别邀请到Santec 技术专家刘卫永博士,在6月23日的工艺培训环节,刘博士将重点介绍santec公司开发的两种硅基液晶器件:空间光调制器SLM以及波长选择开关WSS。培训现场,首先,刘博士会给大家介绍空间光调制器的基本原理与用...
使用空间光调制器阵列的无掩模光刻系统和方法 发明人: 阿诺·布里克 温斯莱奥·A.·切布海尔 贾森·D·亨特斯坦 安德鲁·W·麦卡罗 所罗门·S·沃瑟曼 申请人: ASML控股股份有限公司 摘要: 一种用于在目标物上写入图案的无掩模光刻系统。该系统可包括照明系统,目标物,空间光调制器(SLM),和控制器。在目标物...
摘要:一种使用相位光调制器(PLM)和空间光调制器(SLM)对光进行调制的装置、系统和方法。装置使用下述来确定待在PLM的位于PLM和SLM之间的图像平面处形成的表示图像的目标‑目的波:图像数据,该图像数据限定用于投影的图像;和在图像平面处该目标‑目的波的空间变化相位的空间值的随机播种;其中,SLM和PLM布置成...
说明书的另一方面提供了一种方法,该方法包括,在装置处使用下述来确定待在相位光调制器(plm)的位于plm和空间光调制器(slm)之间的图像平面处形成的表示图像的目标-目的波:图像数据,该图像数据限定用于投影的图像;和在图像平面处该目标-目的波的空间变化相位的空间值的随机播种;其中slm和plm布置成使得从plm反射的光照...
1.一种灰度印刷的方法,包括a.在空间光调制器的区域内在行内实现脉宽调制;b.在空间光调制器的至少一个区域内实现行组合,但不包括实现脉宽调制的所述行,这样行组合决定了灰度级的整数部分,所述脉宽调制决定了印刷图像的所述灰度级的小数部分。 2.如权利要求1所述的方法,其特征在于包括,在与所述脉宽调制区域和所...
专利名称:使用空间光调制器的图形产生系统的制作方法 技术领域: 本发明涉及在光敏表面诸如半导体器件和显示器的光掩膜上极高精度地印刷图形。本发明尤其涉及在工件上制作图形的一种系统,它包括从EUV到IR的波长范围内发射光脉冲的一种源,具有至少一个调制元件(象素)并适合于被至少一种发射的光脉冲照射的一种空间光调...
使用空间光调制器阵列的无掩模光刻系统和方法 (57)摘要 一种用于在目标物上写入图案的无掩模光刻系统。该系统可包括照明系统,目标物,空间光调制器(SLM),和控制器。在目标物接收光之前,SLM可使来自照明系统的光形成图案。SLM可包括前组SLM和后组SLM。前和后组中的SLM根据目标物的扫描方向而改变。控制器可根据光...