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一、离子镀膜技术：“轰击 - 沉积” 的动态平衡 离子镀膜机在沉积薄膜的同时，利用氩离子（能量 50-500eV）轰击薄膜表面，实现三大效果：1. 应力调控：通过离子能量调整，可将薄膜应力从张应力（+100MPa）调整为压应力（-50MPa），减少裂纹风险；2. 界面活化：轰击去除表面污染物，使薄膜与基底的附着力提升 3-5...
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