离子铣有两个重要的优点:定向性和普适性。刻蚀的定向性是由于离子束中的离子是通过一个强垂直电场来加速的,反应室中的压力很低,因此原子间的碰撞几乎是完全是不可能的,结果,当原子撞击晶圆片表面时其速度是近乎完全垂直的。因为它是与化学特性无关的,因此对任何材料都可做各向异性刻蚀。 离子铣的第二个优点是它...
离子铣的第二个优点是它可以用来刻蚀各种不同类型的材料,包括很多化合物和合金材料,即便它们没有适当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率由于材料不同所引起的变化一般不会超过三倍。 离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm...
IBM离子铣/IBE离子束刻蚀系统:NIE-4000 独立式 IBE 刻蚀系统NIE-3500 紧凑型独立式 IBE 刻蚀系统NIR-4000 独立式 IBE / RIE 双刻蚀系统NIE-3000 台式 IBE 刻蚀系统NANO-MASTER那诺-马斯特的IBM离子铣系统或IBE离子束刻蚀系统具有很强的适应性,可根据不同的应用而按不同的配置进行建构。多样的样片夹具和离子源配...
氧气刻蚀通常用于加工金属材料,可以形成较为粗糙的表面,有利于后续的附着和涂层。 此外,氮气也常用于离子铣刻蚀中。氮气刻蚀具有较低的刻蚀速率和较高的选择性,可以在保证刻蚀精度的同时,减少对周围材料的损伤。氮气刻蚀特别适用于对材料表面质量要求较高的加工场景,如光学元件的制造。 除了上述气...
在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较:? 离子铣>等离子体刻蚀>RIE离子铣>RIE>等离子体刻蚀RIE>离子铣>等离子体刻蚀等离子体刻蚀>离子
NIM-4000(A)全自动离子铣刻蚀:利用离子束轰击固体表面的溅射作用,剥离加工各种几何图形,通过大面积离子源产生的离子束,可对固体材料溅射刻蚀,对固体器件进行微细加工。 详情介绍 IBM离子铣 NIM-4000(A)全自动离子铣刻蚀产品概述:利用离子束轰击固体表面的溅射作用,剥离加工各种几何图形,通过大面积离子源产生的离子束...
应用最多的刻蚀方法有湿法刻蚀、等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、 离子铣刻蚀等。()A.正确B.错误的答案是什么.用刷刷题APP,拍照搜索答疑.刷刷题(shuashuati.com)是专业的大学职业搜题找答案,刷题练习的工具.一键将文档转化为在线题库手机刷题,以提高学习效率,是学习的生产力
溅射刻蚀,又称离子铣,反应的过程为A.物理作用B.化学作用C.既有物理作用,又有化学作用D.无作用的答案是什么.用刷刷题APP,拍照搜索答疑.刷刷题(shuashuati.com)是专业的大学职业搜题找答案,刷题练习的工具.一键将文档转化为在线题库手机刷题,以提高学习效率,是学习的生产力
在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较:A.离子铣>等离子体刻蚀>RIE B.等离子体刻蚀>离子铣>RIE C.离子铣> RIE>等离子体刻蚀 D.RIE>离子铣>等离子体刻蚀点击查看答案 第4题 干法刻蚀和湿法刻蚀二者中,通常()的刻蚀选择比较高,()的刻蚀通常是各向异性。 A.湿法刻蚀 干法刻蚀 B.干法...