Noble Diode 和 StarCell 离子泵通过改变阴极材料的种类或者离子入射的角度，增加了惰性气体散射到阳极筒或泵壁并被掩埋的概率，从而具有更高的对惰性气体抽速。StarCell 离子泵对惰性气体的抽速可以达到名义抽速的 20% 左右，优于 Noble Diode；并且，特殊的阴极形状，使其阴极材料的使用效率更高，因此寿命更长（...
1. 静态抽速测试法:将离子泵与真空室密封,记录一定时间内真空室内的压力变化,从而计算出离子泵的抽气速度。 2. 动态抽速测试法:将离子泵与真空室相连,通过开启真空室内的阀门控制进气,记录一定时间内真空室内的压力变化,从而计算出离子泵的抽气速度。 四、离子泵抽速测试...
离子泵的抽速由离子注入与扩散至阴极、气体溅射至阳极筒、离子轰击阴极并引发反应、以及在离子轰击下重新释放气体等多重效应共同决定。不饱和抽速指的是新泵或刚经过烘烤再生的泵，其内部元件尤其是阴极表面非常洁净，表面放气率低，此时的抽速。随着泵工作，气体不断注入与扩散，离子轰击时阴极内部气体重...
溅射离子泵的抽速取决于它的类型以及泵的极限压力和泵速等因素。根据经验,当泵速为1000-2000 L/s时,达到10^-6Pa的真空度需要10-20分钟。当泵速为2000-4000 L/s时,它可以在5-10分钟内达到相同的真空度。因此,溅射离子泵的抽速一般在10^-6-10^-8 Pa.m^3/s的量级...
决定离子泵抽速的几种效应 表示离子泵性能最重要的一个参数是其抽气速度，简称抽速，它反映了离子泵单位时间内可以“抽走”的气体体积，通常以 L/s 做单位。离子泵抽气是下面几种效应综合作用的结果：离子注入和扩散到阴极中；气体被溅射形成的钛膜掩埋在阳极筒上；离子轰击阴极所溅射出来的材料与活性气体发生...
流量q定义为单位时间内被抽的分子数它正比于借助于被溅射的阴极材料的数量离子流即01压力高于106mbar泵的抽速随着压力增加而趋于下降这是由于离子撞击到阴极上的真实能量不是相当于标称的施加电压提供的能量而是由于空间电荷效应而降落因此其溅射速率亦下降 溅射离子泵的抽速 姜燮昌译自 Vacuum/Volume 38/No.8~10/...
动态流导法测溅射离子泵抽速原理与步骤 溅射离子泵抽速抽速测量方法包括动态流导法和静态法。考虑到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法。如图2 所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室,然后被微型溅射离子泵抽走。 图2 动态流导法示意图 通过测量标准流导两端充气室和测试室的压强P1、P2,按如下公式计算...
泵轴位置 中间 材质 钽 电压 220V 型号 100 200 300 400T 原理 离子溅射 抽速 120-600L/S 内接法兰 DN100-160CF 150TV尺寸(HxLxW) 338x247x231 300TV尺寸(HxLxW) 345x450-#120;231 600TV尺寸(HxLxW) 525x450-#120;305 150TV重量 32kg 300TV重量 65kg 600TV重量 109kg 品牌 德...
Agilent CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸气剂泵芯。吸气剂泵可为活性气体提供超高抽速(高达 400 L/s 氢气),而三极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速。经优化的磁场和真空烧制工艺进一步提...
溅射离子泵抽速抽速测量方法包括动态流导法和静态法。考虑到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法。如图2 所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室,然后被微型溅射离子泵抽走。 图2 动态流导法示意图 通过测量标准流导两端充气室和测试室的压强P1、P2,按如下公式计算出微型溅射离子泵对测试室的抽速Ss(单位...