专利摘要显示，本申请公开了一种磁悬浮平面电机的位移装置，包括：定子和动子，定子设有磁体阵列、读数头和光谱共焦位移传感器，磁体阵列沿水平面延伸，读数头包括有至少一个第一读数头和至少一个第二读数头，光谱共焦位移传感器设有至少三个且不共线设置；动子设有第一阵列三相线圈、第二阵列三相线圈以及平面光栅；...
磁悬浮平面电机 第6部分超精密多自由度平面运动 实现方法 超细微加工工作台 以飞秒激光作为刀具:光斑为纳米级以磁悬浮工作台作为定位工作台：工作范围１X1mm2以基于CCD和正交光栅作为测量反馈系统：分辨率为０.１纳米 Mirror Ti:sapphire Laser Workpiece TranslationStage FocusingLens LaserBeam ComputerMonitor& Control 超...
磁悬浮平面电机 第6部分超精密多自由度平面运动实现方法 超细微加工工作台 以飞秒激光作为刀具:以飞秒激光作为刀具:光斑为纳米级以磁悬浮工作台作为定位工作台：以磁悬浮工作台作为定位工作台：工作范围１X1mm2以基于CCD和正交光栅作为测量反馈系统：分辨率为０.１纳米和正交光栅作为测量反馈系统以基于和正交光栅作为测量...
[0005] 1)光栅尺:光栅尺被大量应用于高精度大行程直线位移测量,测量分辨率能够达 到亚纳米级,ASML推出的采用最新技术光栅尺分辨率甚至达到了纳米级,但由于光栅尺采 用的是接触式测量,应用于完全悬浮的电机动子内直接破坏电机动力学模型,也破坏动子 运动自由度,导致电机控制失效。
磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块,并由地面的无线接收/发送模块接收,然后传输至上位机中,上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令,并将该姿态控制指令发送给电流控制器,电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动. ...
摘要 一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法,该系统包括八个Z向电涡流传感器、两个Y向电涡流传感器、一个Y向光栅尺和一个X向容栅尺。八个Z向电涡流传感器平均分为四组,每组测一个位置上的动子悬浮高度。所述方法首先确定各Z向电涡流传感器在固定坐标系中的位置;将各Z向电涡流传感器坐标平移到一个重复单...
德国海德汉HEIDENHAIN 封闭式直线光栅尺消除潜在误差 ￥4115.00 查看详情 科尔摩根Kollmorgen-QT系列直流有刷永磁力矩电机 ￥6493.00 本店由搜了网运营支持 获取底价 上海骄雷自动化科技有限公司 商品描述 价格说明 联系我们 获取底价 商品描述 价格说明 联系我们 品牌 joraytech 驱动方式 电磁驱动 性能 稳定高...
涡流传感器,光栅尺等测量方法,定子线圈及霍尔阵列一体化PCB 3结构上更为简单,成本 优势明显。其最大的特点在于动子行程不再受测距传感器量程的限制,电机的定子线圈以 及霍尔阵列位置测算装置由PCB制作而成,具备自由扩展性,动子行程具备不再受限制的优 点。 [0045]磁悬浮平面电机整机的固定基座2上开有定位孔7,螺钉...
国内外研究现状分析国内外研究现状分析 CCD高高NA数物镜数物镜荧光滤光片荧光滤光片平面正交光栅平面正交光栅光源光源工作平台工作平台图像采集电路图像采集电路计算机计算机1.基于平面正交光栅的基于平面正交光栅的超精密平台多维位置超精密平台多维位置测测量原理研究量原理研究;2.基于机器视觉的超精基于机器视觉的超精密多...
sapphire Laser Computer Monitor Control Focusing Lens Workpiece Mirror Translation Stage Laser Beam 以飞秒激光作为刀具:光斑为纳米级 以磁悬浮工作台作为定位工作台: 工作范围1X1mm2 以基于CCD和正交光栅作为测量反馈系统:分辨率为0.1纳米 产品: 根据压电陶瓷所具有的超声波驻波原理,nanomotion推出了极为先进的电子...