a介绍了ZAO及ZAO薄膜的结构特性;采用溶胶–凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,利用XRD、SEM、紫外–可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征,研究了ZAO薄膜的结构和光学性能;采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究了不同工艺参数对薄膜晶体结...