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实验室数据表明，在不同条件下，靶材寿命存在显著差异。例如，在功率密度降低20%的情况下，靶材寿命延长了40%。通过绘制数据曲线，可以直观地分析工艺参数对靶材寿命的影响。四、如何延长磁控溅射靶材的使用寿命 1. 优化材料选择 （1）选择高密度、高纯度靶材例如，采用高密度ITO靶材可以减少裂纹的形成，提高抗消耗性能...
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