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自组装是指基本结构单元(单根碳纳米管)自发形成有序结构的一种技术。 干法制备碳纳米管薄膜,主要包括两种方法: 抽膜法 从碳纳米管垂直阵列的基体中直接抽取、拉丝形成碳纳米管薄膜。 化学气相沉积法 从漂浮的催化剂化学气相沉积(FCCVD)体系中沉积CNT薄膜。
薄膜，作为EUV光刻中的核心组件，其性能直接影响到光刻的效率和准确性。而碳纳米管薄膜，凭借其独特的物理和化学性质，有望成为这一领域的革命性突破。然而，在制造小于7nm的芯片时，即便是在最严谨的环境下，也难免会出现失误。在极紫外（EUV）工艺中，光掩模在转移过程中可能会粘附灰尘颗粒，这些颗粒会导致晶圆上的...