碳化硅导电型及半绝缘型衬底 | 导电型衬底是通过去除晶体中的各种杂质,特别是浅能级杂质,实现晶体的本征高电阻率。 导电型碳化硅功率器件就是通过在导电型衬底上生长碳化硅外延层,得到碳化硅外延片后进一步加工制成,品种包括造肖特基二极管、MOSFET、IGBT等,主要用于电动汽车、光伏发电、轨道交通、数据中心、充电等基础建设...