硅单晶抛光片和外延片在制作上有所不同。硅单晶抛光片是利用单晶硅材料锯切而来,经过化学机械抛光技术制成具有较高表面平整度和纯度的硅片。而外延片则是在硅片上生长一层厚度为几微米到几百微米的外延层,然后再用化学机械抛光技术将外延层剥离出来,成为独立的外延片。 四、结论 总的来说...