石英玻璃是紫外光刻,激光核技术等精密光学系统的关键光学元件.石英玻璃在加工过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题, 化学抛光能有效消除石英玻璃的亚表面损伤.介绍了石英玻璃片的化学抛光工艺原理和过程, 利用正交实验法优化了石英玻璃化学抛光工艺参数, 分析了化学抛光过程中抛光液成分,抛光液温度和抛光时间对...