摘要 本发明公开了一种补偿照射式真空紫外灯离子源装置,该装置位于真空系统中,包括电离室、离子传输区及离子透镜,所述电离室上设有一与大气压相接的进样孔,所述进样孔、电离室、离子传输区和离子透镜的中心轴同轴,与所述电离室中心轴垂直的平面上设有多盏对应补偿、交叉照射的真空紫外灯,各真空紫外灯的光束方向...
摘要 本发明公开了一种补偿照射式真空紫外灯离子源装置,该装置位于真空系统中,包括电离室、离子传输区及离子透镜,所述电离室上设有一与大气压相接的进样孔,所述进样孔、电离室、离子传输区和离子透镜的中心轴同轴,与所述电离室中心轴垂直的平面上设有多盏对应补偿、交叉照射的真空紫外灯,各真空紫外灯的光束方向...
摘要 本发明公开了一种补偿照射式真空紫外灯离子源装置,该装置位于真空系统中,包括电离室、离子传输区及离子透镜,所述电离室上设有一与大气压相接的进样孔,所述进样孔、电离室、离子传输区和离子透镜的中心轴同轴,与所述电离室中心轴垂直的平面上设有多盏对应补偿、交叉照射的真空紫外灯,各真空紫外灯的光束方向...