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一、真空度 真空离子泵和分子泵都是用来产生高真空度的真空泵。但是,真空离子泵的真空度比分子泵高得多。真空离子泵可以达到10-11Pa的高真空度,而分子泵只能达到10-8Pa的中真空度。 二、抽气速度 在抽气速度方面,真空离子泵和分子泵也存在一定的差异。真空离子泵的抽气速度很高,可以...
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