极限压力:高于102Pa。常见类型:往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。用途:主要用于粗真空的抽取,如机械、制药、食品等行业中的真空蒸馏、真空蒸发等工艺过程。中真空泵 极限压力:在102Pa至10-1Pa之间。常见类型:罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速...
真空泵分为气体输送泵和气体吸附或捕集泵:气体输送式真空泵可以连续使用,而气体吸附真空泵具有有限的气体吸收能力,并且必须在一定的过程时间间隔进行再生。气体输送泵,分为容积式真空泵和动量传递真空泵。容积泵将密封空间中的气体排到大气或下级泵中。动量传递泵通过机械驱动或蒸汽射流在运动方向对气体进行加速来抽...
四、离子泵 离子泵主要用于超高真空(10-9~10-12Pa)范围内的气体排放,在半导体、光学仪器等领域有广泛应用。离子泵的工作原理是通过离子撞击产生的电子释放将气体分子排放。离子泵的排放速度非常快,但对气体种类和水分敏感,价格也比较...
1、气体捕集泵:这类泵通过吸附或捕集系统中的气体分子来实现抽真空,常见的有吸附泵和捕集泵。 2、气体传输泵:通过抽吸系统中的气体并将其排出,常见的有扩散泵和涡轮分子泵。 按结构分类 1、机械式容积真空泵:通过机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用,包括往复式、旋转式、液环式等。
扩散泵是真空设备的重要组成部分,常用于高真空工作场合。基于分子扩散原理,扩散泵具有高抽速和高压缩比等特点,被广泛应用于半导体和其他高科技工业领域。其优点是稳定性好、抽气速度高、清洁无油,并且不会产生电磁干扰,因此特别适用于高真空和干燥的环境。 二、分子泵 分子泵是一...
根式泵是一种干式真空泵,能够提供高真空和高吸气速度。根式泵的工作原理是通过双转子的旋转将气体压缩并排出。根式泵可分为单级和多级根式泵。 4.离子泵 离子泵是一种高真空泵,可用于精密仪器、半导体工业等领域。离子泵的工作原理是通过产生电场将气体分子离子化,并施加电场力使离子运动并被排出。离子泵可分为直...
根据其工作原理和结构设计的不同,真空泵可以分为多种类型,常见的几种真空泵包括离心真空泵、旋片真空泵、分子泵、转子泵、涡轮分子泵等。离心真空泵:离心真空泵通过离心力的作用将气体抽出,是一种常见的真空泵,适用于中高真空度的场合。它的工作原理是通过高速旋转的叶轮使气体获得足够的动能,然后通过出口排除...
1、往复式真空泵 :利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。 2、旋转式真空泵 : 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类: 1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常...
真空泵是工业生产中不可或缺的设备,用于在封闭空间内产生、维持和改善真空状态。根据工作原理和结构特点,真空泵可以分为多种类型。 1. 机械式真空泵 机械式真空泵是最常见的真空泵类型,包括旋片式真空泵、活塞式真空泵和螺杆式真空泵等。它们通过机械运动产...
真空泵是一种专门用于抽取气体的机械设备,它可以将空气中的气体抽到非常低的压力范围内。根据其工作原理,真空泵可以分为以下几种类型: 1. 机械泵 机械泵是最常见的一种真空泵,它的工作原理是通过旋转叶轮产生气体流动,从而将气体抽出。机械泵适用于低真空和中真空范围内的气体抽取。 2. 分...