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真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强,其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查,归属于禁运产品目录,真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“...
直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置
我公司提供的真空机械手是面向半导体、电子制造业的自动化解决方案。该产品工作在真空环境下,具有抓取硅片、玻璃基板等脆性物品的能力。采用精密减震设计和专门的抓取模式,确保抓取过程中不会对样品造成损伤。同时,配置多种真空兼容材质,能够适应不同工艺的使用需求。该产品
密封件 磁性流体 MAGNEX 空心轴法兰式 真空机器人 全面的技术磁流体 全新/维修 全面的技术 无锡磁强沃格真空装备有限公司 2年 查看详情 ￥6.50万/台 湖北武汉 瑞丰光电 真空灭弧室 发那科激光焊接机器人 效率提高2-8倍 源头厂家 在线交易 48小时发货 少货必赔 破损包赔 源头工厂 武汉瑞丰光电技术有限公司 查...
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CINNO Research产业资讯，韩国机器人开发和制造专业厂商T-Robotics公司6月18日 宣布 , 公司提前达到了8.6代 OLED蒸镀工艺用真空机器人的性能 , 并进入商业化阶段 。T-Robotics公司成功研发的8.6代真空机器人，是在韩国产业部材料零部件技术开发项目的支持下实现的。该项目为期四年，总投资高达215亿韩元，集结了...
真空晶圆搬运机器人 参数详解※1 型号ModelUTVW-R2800H 机械手臂形状 Robot Type4轴圆坐标型 4 axis Cylindrical Coordinate 动作范围 Operation Range X-axis680mm θ-axis330° Z-axis50mm 最大动作速度 Max. Operation Speed X, A-axis 120°/sec...
“九成新SANKYO三协真空机器人SR8651”参数说明 型号:SR8651最大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec):2474 动作范围「RR/RL 轴」(㎜):2720真空度:1.33×10-2 自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled)最大速度「噪音」(dB):80 or less 最大速度「Z 轴」(㎜/s):400动作范围「Z轴」(㎜):465(Solar)/670(LC...