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常用泵的真空度和适用范围 1)液环泵是一种粗真空泵。液环泵中气体压缩是等温的,所以可用于抽除易燃易爆的气体,此外还可用于抽除含尘、含水的气体。 受工作液饱和蒸气压的限制,真空度低。用水做工作液,极限真空2000 ～4000Pa ;用油作工作液,极限真空约130Pa。
高真空泵是指真空度在10^-7Pa～10^-3Pa之间的真空泵,常用的高真空泵有离子泵、阴极射线离子泵、反应式磁控溅射泵等。高真空泵的主要应用场景是半导体、光学、精密机械等领域中的真空膜沉积、光学镀膜、离子束加工等工艺过程。 综上所述,真空泵按照真空度可以分为低真空泵、中真空泵和高真空泵三...
一、真空泵真空度的含义及分类 真空度是指在特定条件下的气体压力,是一个与温度、压力等因素相关的物理量。在真空泵的使用中,真空度通常分为正压、负压和绝对压力三种类型。 正压:正压即常态下气体的压力,通常用标准大气压作为基准。在海平面上,标准大气压是等于101.325千帕的,也就是常说的1个大气压。...
一、旋转式真空泵 旋转式真空泵是一种广泛应用于实验室的机械泵。它的结构简单,操作易于掌握。这种泵的工作原理是通过机械旋转运作的,依靠旋转过程中的离心力将气体排放到泵体外部。旋转式真空泵主要用于达到粗真空或中真空区间,通常能达到10^-3Pa的真空度。 二、吸附式真空泵 吸附式真...
然而,显示在真空泵上的真空度并不代表被抽空间内的真实真空度,因为两者之间存在一定的差别。 在被抽空间内,气体分子可能会与表面发生反应,或者被抽空间表面的杂质吸附,这些因素都会影响被抽空间内部的真空度。除此之外,被抽空间内可能还存在一些气味、水分或者其他未...
一、机械泵 机械泵是常见的一种低真空泵,真空度范围在10^3~10^-1 Pa之间。机械泵通过机械运动将气体压缩,将气体从系统中排出,常用于普通的实验室真空系统、真空干燥、真空蒸馏等场合。机械泵在操作上简单易用,成本也比较低,但由于大部分气体只在低真空下被压缩,难以达到高...