因此称这种方法为扫描白光干涉测量法。 测量原理 白光干涉仪测量方法 1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心 2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合; 3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件; 4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹; 5.设置好扫描方式和扫描范围; 6....
对于平板玻璃,由于其表面光洁度高,常规方法难以测量其表面形貌,因此可以采用测量其折射率的方法。具体步骤如下: 1. 在水平台面上放置一块平面镜,并将白光照在其上,使得光线呈45度入射角。 2. 将待测平板玻璃置于与平面镜接触的位置,并调整其位置,使得两者平行且距离...
白光干涉仪 图源:优尔鸿信表面分析实验室 针对较粗糙表面,一般采用摩擦测试法和触针式测量法,一是通过测量材料表面在与其他材料接触时的摩擦力来评估表面的粗糙度,另一是通过多个触针在材料表面上移动,测量触针与表面之间的位移或力的变化。 对于较光滑材料表面,激光干涉仪、扫描电子显微镜等光学测量法,可以观察材料...
方法② ：通过PSI 相移干涉 获得高度差 相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个...
SuperViewW1白光干涉仪 轮廓分析操作步骤: 1.将样品放置在载物台镜头下方; 2.检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态; 3.使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹; 4.微调XY轴,找到待测区域,并重新找到干涉条纹; 5.完成扫描设置和命名等操作; 6.点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会); ...
这种方法称为干涉色法。干涉色法是一种非常精确的测量方法,可以用于薄膜的质量控制、光学设计和研究。 四、如何使用白光干涉仪进行定量测量 使用白光干涉仪测量样品需要准备好样品、环境和测量仪器。首先,将待测物件放在一个稳定的工作台上,并尽可能地避免椅子或机器的振动。其次,调整白光干涉仪的曝光...
用白光干涉测量法描述化学机械抛光面 1 引言 化学机械抛光(CMP)在半导体工业内部得到了广泛的应用,化学机械抛光(CMP)加工处理的质量不仅要通过最终的表面平面度,而且也要通过抛光时人为造成缺陷的程度来评价,这些人为造成的缺陷包括:1)碟形凹陷和腐蚀的数量;2)线高变化的均匀性;3)缺陷、粒子的数量和残余物的总量。
绝对测量使用光纤白光干涉测量法。传统的白光干涉测量法使用扫描干涉仪来补偿光程,系统稳定性差,分辨率低。光谱域白光干涉测量法利用宽带光源或波长扫描光源,探测传感干涉仪的输出白光光谱。但是在利用光谱域白光干涉测量的过程中还存在着一些问题。光谱域白光干涉测量法包括:峰值探测法(Yi.Jiang,High-resolution interrogatio...
白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析 李 萍， 闫 英， 周 平 (大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 116024)摘 要: 为探索白光干涉仪在测量矩形台阶时的蝠翼效应误差，建立白光干涉虚拟测量模型。在模型中，考虑白光光源带宽和干涉物镜数值孔径以及圆孔衍射模型的影响，分析蝠翼效应与...
利用高斯滤波器进行低通滤波,可去除样品在宏观上的几何形状误差对检测结果造成的影响;利用高斯滤波器进行高通滤波,可去除1mm以下短波部分的细微轮廓,得到波纹度轮廓。 (4) 采用t检验分析白光干涉测量法及接触式测量法的检测数据,结果显示白光干涉法测量波纹度具有有效性。