通过测量干涉条纹的变化，就可以测量出被测表面的相关物理量。白光的特点及优势：白光属于多色光，具有连续的光谱。与单色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范围内会出现彩色的干涉条纹，并且只有在零光程差附近的极小范围内才会出现清晰的、对比度高的干涉条纹。这一特性使得白光干涉仪在测量时能够通过精确寻找零光程差...
其机理在于,利用分束器将白光分为两路,经样品反射后重新合并,形成干涉条纹,进而推算出样品表面的详细特征。在工业生产中,这一技术展现出了广泛的应用价值。例如,在半导体制造领域,它能精确控制薄膜厚度,确保生产精度;在金属材料检测方面,它能捕捉到材料表面的微小瑕疵,提升产品品质。与传统测量方法相比,白光干涉技术无...
开始测量:启动干涉仪进行测量,记录干涉条纹或光谱信息。 数据分析:对测量数据进行处理和分析,根据干涉原理计算出薄膜的厚度。 四、应用与优势 白光干涉仪的膜厚测量模式具有广泛的应用领域,如半导体制造、光学元件加工、涂层厚度测量等。与其他测量方法相比,白光干涉仪具有非接触式测量、高精度、宽测量范围、快速测量等优...
白光干涉技术是利用相干光在样品表面反射后产生干涉,通过分析干涉条纹的移动及形状变化进行薄膜厚度测量和表面形貌检测的一种技术。其基本原理是将一束白光经过分束器分成两束,射向样品表面,并将样品反射的两束光再次合成成一束,通过光学干涉产生干涉条纹,由此可推算出样品表面的形态和厚度。 二、...
白光干涉测厚技术基于光的干涉原理,利用两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源产生干涉现象。通过测量目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉,可以精确计算出目标面与参考面之间的高度差,即镀膜厚度。 具体测量过程中,相移干涉法使用特定波长范围内的光源,通过计算目标面反射光和参考面反射光之间的相位差,...
基于电光调制相移原理的白光干涉测量技术在多个领域具有广泛的应用: 表面形貌测量:通过测量干涉条纹的变化量,可以精确计算出待测物体表面的微小起伏和缺陷。 薄膜厚度测量:利用白光干涉测量技术可以精确测量薄膜的厚度和均匀性。通过电光调制相移原理,可以实现对薄膜厚度的非接触式、高精度测量。
光纤白光干涉技术作为一种有效的方法可以对应变和温度导致的光程变化进行测量。考虑图2中所示的系统,构成传感臂光纤的光程长度是S=2nL1;参考臂由长度略短于传感光纤的参考光纤L2和参考光纤端面与扫描镜形成的空气间隙X 组成。因此参考臂的总光程为2nL2+2X。 通过调节扫描镜的位置,可以使传感臂和参考臂的光程相匹配...
基于白光干涉原理的光纤传感技术一Ⅱ.光纤白光干涉测量的基本方法
白光干涉仪 激光位移传感器 膜厚仪 白光干涉仪 所有产品 白光干涉仪 该产品由膜厚仪主机、上位机 PC 软件、光纤组成。用一束准单色平行光照射多层薄膜, 光波会在第 1 到 n 层之间来回多次折射、反射进而形成多个相干光束。这些相干光束进行相 干叠加后,携带多层薄膜的相干信号并沿原路返回。不同波长的准单色光...