白光干涉仪广泛应用于机械加工、半导体制造、光学制造、生命科学等领域。 一、白光干涉仪的工作原理 白光干涉仪采用白光干涉技术,利用光路差来测量微小的形变或者厚度变化。当在被测品表面投射一束白光后,经过反射后再反射回来交叉成一系列等倾干涉环。这些干涉环可以反映出被测品表面形貌。经过...
白光干涉仪在多个工业领域中扮演着关键角色。在光学制造领域,它被广泛用于检测透镜、反射镜的表面状况、厚度及形状精度,还适用于紫外线查询等高分辨率测量。材料科学领域则利用其测量薄膜厚度、光学常数及表面平整度,实现高精度快速测量。机械制造领域,白光干涉仪用于测量轮廓、轴向曲率,提升检测与线压制的精度,并评估机械...
在光学制造领域中,白光干涉仪的应用十分广泛。例如,在透镜和反射镜的制造过程中,白光干涉仪可用于检测表面状况、厚度变化以及形状精度。同时,白光干涉仪还可被广泛应用于紫外线查询等高分辨率测量领域。 二、材料科学领域 在材料科学领域,白光干涉仪可用于测量薄膜的厚度、光学常数以及表面平整度等,可以实现高精度、...
航空航天领域:在航空航天领域,白光干涉仪可用于飞机发动机叶片的表面形貌测量、飞机机身的表面平整度检测、卫星零部件的尺寸精度测量等,为航空航天设备的制造和维护提供高精度的检测手段。在这个对精度要求极高的领域,具备双重防撞保护功能的白光干涉仪能够确保测量过程的安全可靠,为航空航天事业的发展提供有力支持。双...
白光干涉仪在半导体制造中的应用非常广泛,它主要用于以下几个方面: 1. 表面粗糙度测量:白光干涉仪可以精确测量硅晶圆表面的粗糙度,这是半导体制造过程中的一个关键步骤。硅晶圆的表面粗糙度直接影响器件的制造质量和性能。 2. 薄膜厚度测量:在半导体制造中,薄膜的厚度对...
白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 可在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工...
白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 ...
白光干涉仪在多个领域都有广泛的应用,其中最典型的是微纳米测量和表面形貌分析。在微纳米制造领域,白光干涉仪可以用于测量纳米级结构的高度和形状,为制造高精度、高质量的微纳米器件提供重要的技术支持。在表面形貌分析领域,白光干涉仪可以用于测量表面的粗糙度、波纹度等参数,为材料科学、机械工程等领域的研究提供...
白光干涉仪在许多行业中都有应用。在制造业中,它常被用于质量控制和工艺改进,例如测量机器零件的尺寸和形状,或者检查表面的平整度和粗糙度。在建筑和土木工程中,它可以用于测量建筑物和桥梁的振动和形变。在电子和半导体行业中,它可以用于测量薄膜的厚度和折射率,或者监测集成电路的制造过程。在科研领域,也有广泛...