2、粗糙度测量:白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm级别。面和线粗糙度测量,最高可确保0.1nm的测量可靠性,不限制材质和形状。 白光干涉仪粗糙度RMS重复性0.005nm,利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙...