Supro样品杆等离子系统采用涡轮分子泵和无油隔膜泵的配合,产生一个洁净的< 5 *10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的真空检漏和等离子体清洗用途。采用远程RF 射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。 清洗原理 SPC150 采用RF射频远程等离子源作...
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