ICP刻蚀原理。#半导体设备 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机器包括两套通过自动匹配网络控制的13.56MHz 射频电源,一套连接缠绕在腔室外的螺线圈,使线圈产生感应耦合的电场, 在电场作用下, 刻蚀气体辉光放电产生高密度等离子体。功率的大 - 硅时代·Simon于20231011发布在
一种是圆柱形的,即射频耦合天线螺旋缠绕在圆柱形放电管(通常是绝缘石英管)上,一种是扁平的,即射频耦合天线同心螺旋布置在放电管顶部,射频能量通过天线耦合到放电管上,产生高密度、均匀的ICP等离子体[7]。ICP等离子体产生的原理是通过匹配网络将13.56MHz射频功率施加于螺旋线圈天线,产生射频磁通,真空容器中的电子被感应...
低温等离子表面处理工艺应用领域分析 客观地说,等离子体刻蚀原理国内销售的设备在加工或组装零件的过程中很少使用等离子表面处理工艺。项目投资及维护费用;仅外贸出口到西部发达地区,因质量控制或检验标准要求有相关技术流程。随着我国经济的不断发展,人们的生活质量和
电感耦合等离子(ICP)金徕等离子表面处理机是根据半导体行业的工艺要求开发的,其主要用途是去除晶圆制造中的光刻胶。和蚀刻。严格来说,等离子刻蚀已经属于另一类工艺设备。今天,金徕将讨论电感耦合等离子表面处理机的放电原理、模型和特点。 当高频电流通过螺旋线圈时,该空间中同时存在两个电场。一是通过线圈两端的高频电...
电感耦合等离子(ICP)金徕等离子表面处理机是根据半导体行业的工艺要求开发的,其主要用途是去除晶圆制造中的光刻胶。和蚀刻。严格来说,等离子刻蚀已经属于另一类工艺设备。今天,金徕将讨论电感耦合等离子表面处理机的放电原理、模型和特点。当高频电流通过螺旋线圈时,该空间中同时存在两个电场。一是通过线圈两端的高频电位...
一种是圆柱形的,即射频耦合天线螺旋缠绕在圆柱形放电管(通常是绝缘石英管)上,一种是扁平的,即射频耦合天线同心螺旋布置在放电管顶部,射频能量通过天线耦合到放电管上,产生高密度、均匀的ICP等离子体[7]。ICP等离子体产生的原理是通过匹配网络将13.56MHz射频功率施加于螺旋线圈天线,产生射频磁通,真空容器中的电子被感应...