全球电子束物理气相沉积热障涂层材料主要参与者分析 根据百谏方略(DIResaerch)研究统计,全球电子束物理气相沉积热障涂层材料主要参与者包括Saint-Gobain、Daiichi Kigenso Kagaku Kogyo Co., Ltd.、Tosoh Corporation、Solvay、Paton Turbine Technologies、Oerlikon Group、Showa Denko、上海百图高新材料科技有限公司和H.C. S...
电子束物理气相沉积技术是一种利用高速电子束加热物质使其蒸发并沉积在基板上的薄膜制备技术。其基本流程包括材料蒸发、成膜、基板旋转等步骤。电子束物理气相沉积技术具有生长速度快、成膜均匀等优点,因此在微电子、光电等领域得到广泛应用。 二、常见问题 1. 残留氧气和水分:氧...
电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术 技术原理 在真空环境下,利用高能量密度的电子束轰击置入水冷坩埚中的被蒸发材料,使其达到熔融气化状态,并在基板上凝结成膜的技术。 技术特点 针对燃气涡轮发动机叶片,采用EB-PVD技术制备防护涂层,具有以下技术特点: 1) 可在一个生产周期内连续的制造单层、双层以及三层涂层; 2) 叶...
优点：高纯度薄膜：由于蒸发过程是在真空中进行的，所以得到的薄膜纯度高。精确控制：电子束的强度和位置可以精确控制，这样就能精确控制薄膜的厚度和沉积速率。适用性广：适合蒸发高熔点和低蒸汽压的材料，比如金属和一些氧化物。热影响小：由于加热区域集中，对衬底的热影响小。缺点：设备成本高：电子束蒸...
电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备。将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉积工艺本身存在阴影效应和扩散能力低而引起的沉积材料的不致密等不足。介绍了电子束物理气相...
电子束物理气相沉积技术及其应用现状EB-PVD Technology and Its Application Status 哈尔滨工业大学复合材料研究所 关春龙 李 土 土土 赫晓东 [摘要] 介绍了电子束物理气相沉积设备的结构、工艺特点及应用范围,并在此基础上介绍了电子束物理气相沉积技术在制备热障涂层、微层材料以及新型叶片等方面取得的应用...
20 世纪中叶, 电子束与物理气相沉积技术结合并成功地应用于材 料焊接及涂层的制备。20 世纪 80 年代 ,美国、 英国、 德国等国 家把注意力转移到 EB-PV D 工艺制备热障涂层, 主要用于制备 MCrA 1 Y 涂层, 80 年代初美国 A irco Temescal 公司首先在实验 室采用 EB-PVD 技术得到了具有 良好重复性的高质量...
电子束与物理气相沉积技术结合并成功地应用于材料焊接及涂层的制备.20世纪80年代,美国,英国,德国等国家把注意力转移到EB-PVD工艺制备热障涂层,主要用于制备MCrA1Y涂层,80年代初美国AircoTemescal公司首先在实验室采用EB-PVD技术得到了具有良好重复性的高质量热障涂层[】],但设备价格昂贵,制备成本高,使EB-PVD技术的...
摘要 电子束物理气相沉积(Electron Beam-Physical Vapor Deposition)技术与其它真空镀膜技术相比,具有高的能量密度,能熔解蒸发一些难熔及蒸汽压很低的材料,并且具有相对较高的沉积速率,在厚涂层及薄板材料制备... 关键词电子束物理气相沉积 / 近净成...
摘要:电子束物理气相沉积(Electrom Beam-Physical Vapor Deposition,EB-PVD)是制备航空发动机热防护涂层的一种重要技术手段。采用等离子体辅助技术可进一步实现EB-PVD涂层的结构改性和性能提升。对等离子体辅助EB-PVD技术的研究现状进行了简要综述,并对等离子体辅助EB-PVD制备航空发动机MCrAlY抗氧化涂层、氮化物抗冲蚀涂层及...