电子束曝光机 1. The configuration,technology solutions and all performances of laser stage system for E-beam lithography machine were described. 介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。 2. Measurement system of precision stage shows its important role ...
本文简要地介绍了一种圆形电子束曝光机应用软件的结构、工作原理及工作过程; 8. variable shaped electron beam exposure system 可变电子束曝光装置 9. electron beam projection exposure apparatus 电子束投影曝光装置 10. The E-beam Lithograpy Control System Based on VC++6.0 基于VC++6.0的电子束曝光控制...
5) electron beam scanning exposure 电子束扫描曝光 6) scanning electron-beamlithography 扫描电子束光刻 例句>> 补充资料:电子束CT扫描机 电子束CT扫描机 CT设备的类型之一。 通过电子枪发射电子束产生旋转X线源进行扫描的CT设备。于80年代中期设计,也称为电影CT(cine CT)、超(高)速CT(ultrafast CT,UFCT)...
缩小投影电子束曝光 1. Image Contrast of Projection Electron-beam Lithography with Demagnification Imaging(PELDI); 缩小投影电子束曝光系统的成像反差 2. Proof-of-Concept System for Projection Electron-Beam Lithography with Demagnification Imaging(PELDI); 缩小投影电子束曝光原理论证机6) electron projecti...
5) electron beam scanning exposure 电子束扫描曝光 6) scanning electron-beamlithography 扫描电子束光刻 例句>> 补充资料:电子束CT扫描机 电子束CT扫描机 CT设备的类型之一。 通过电子枪发射电子束产生旋转X线源进行扫描的CT设备。于80年代中期设计,也称为电影CT(cine CT)、超(高)速CT(ultrafast CT,UFCT)...
缩小投影电子束曝光系统的成像反差 2. Proof-of-Concept System for Projection Electron-Beam Lithography with Demagnification Imaging(PELDI); 缩小投影电子束曝光原理论证机4) electron beam projection exposure apparatus 电子束投影曝光机 5) projection electron beam lithography 电子束投影曝光 1. The fabric...
raster scan electron beam lithography 光栅扫描电子束光刻 3. vector scan electron beam lithography 矢量扫描电子束光刻 4. The elementary exposure pattern of a variable rectangular electron beamexposure machine is a rectangle. 可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。 5. raster scan electron beam ...
electron beam projection exposure apparatus 电子束投影曝光装置 3. reducing electron beam projection system 缩小式电子束投影系统 4. The elementary exposure pattern of a variable rectangular electron beamexposure machine is a rectangle. 可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。 5. reduction aligner ...